半導體陶瓷零件

在半導體領域，氧化鋁晶圓搬運／支撐叉臂，它的主要作用包括： 高溫爐（退火、CVD、PVD）內的晶圓載具 在幾百度乃至上千度的真空或惰性氣氛中，將晶圓置于爐管中心或反應區，并在工藝結束后安全取出。 陶瓷材質保證結構剛性且熱膨脹系數低，不會因反復劇烈升降溫而變形。