氧化鋁晶圓搬運手臂

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，氧化鋁晶圓搬運／支撐叉臂，它的主要作用包括： 高溫爐（退火、CVD、PVD）內(nèi)的晶圓載具 在幾百度乃至上千度的真空或惰性氣氛中，將晶圓置于爐管中心或反應(yīng)區(qū)，并在工藝結(jié)束后安全取出。 陶瓷材質(zhì)保證結(jié)構(gòu)剛性且熱膨脹系數(shù)低，不會因反復(fù)劇烈升降溫而變形。