碳化硅陶瓷導軌

在半導體晶圓搬運、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設備中，碳化硅（SiC）導軌憑借其獨特性能，在高速、潔凈、高精度的運行環境中發揮著關鍵作用： 1. 高剛性支撐與精準定位 SiC 導軌具有極高的楊氏模量（~400 GPa），剛性遠超金屬或工程塑料。